本申請(qǐng)涉及
粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種TiAlZr靶材及其制備方法。該方法通過(guò)選擇一定比例的TiZr合金粉、Al粉或者TiZr合金粉、Ti粉及Al粉作為預(yù)合金粉末,然后將粉末裝入包套中經(jīng)過(guò)脫氣、HIP來(lái)制備TiAlZr合金靶材。本申請(qǐng)的制備方法可獲得相對(duì)密度>99%,晶粒尺寸均的靶材,且可有效解決含Zr粉末冶金靶材在制備過(guò)程中Zr易燃易爆的危險(xiǎn)性問(wèn)題。
聲明:
“TiAlZr靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)