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用于去除半導(dǎo)體器件中的鋁終端襯墊材料的方法和結(jié)構(gòu)

655   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:09
一種用于最后段制程(FBEOL)半導(dǎo)體器件形成的方法,包括:在半導(dǎo)體晶片(106)的上層中形成終端銅襯墊(104),在所述終端銅襯墊之上形成絕緣疊層(114),以及在所述絕緣疊層的一部分內(nèi)構(gòu)圖并開口終端過孔(116)以留下保護(hù)所述終端銅襯墊的所述絕緣疊層的底部覆層(118)。在所述絕緣疊層的頂部之上形成并構(gòu)圖有機(jī)鈍化層(126),并去除在所述終端銅襯墊之上的所述底部覆層(118)。在所述有機(jī)鈍化層和終端銅襯墊之上淀積球限制冶金(BLM)疊層(128),以及在所述BLM疊層的構(gòu)圖的部分上形成焊料球連接(108)。
聲明:
“用于去除半導(dǎo)體器件中的鋁終端襯墊材料的方法和結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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