本發(fā)明包括超級(jí)合金靶,其中該超級(jí)合金靶具有隨機(jī)晶粒取向的多晶結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)中的平均晶粒尺寸小于20μm,并且該結(jié)構(gòu)中的孔隙率小于10%。此外,本發(fā)明包括通過(guò)
粉末冶金生產(chǎn)制造超級(jí)合金靶的方法,其中所述粉末冶金生產(chǎn)從超級(jí)合金的合金粉末開始并且包括合金粉末的放電等離子體燒結(jié)(SPS)步驟。
聲明:
“超級(jí)合金濺射靶” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)