一種大型三氯氫硅合成裝置,為筒形結(jié)構(gòu),上部筒體直徑擴(kuò)大部分是氣固分離段,該段設(shè)有出料口,中部的直筒段是反應(yīng)段,反應(yīng)段外包加熱器,加熱器上方設(shè)有硅粉進(jìn)料口,底部連接下封頭,下封頭上開有氯化氫進(jìn)氣口,下封頭還開有排渣口,其筒體的反應(yīng)段底部的氯化氫進(jìn)氣口上方設(shè)置氣體分布板,氣體分布板上分布有氣孔,筒體內(nèi)置有內(nèi)換熱套管,內(nèi)換熱套管與筒體外的熱媒進(jìn)管和熱媒出管連通。本發(fā)明解決了規(guī)模化生產(chǎn)三氯氫硅的問題,具有拆卸方便、合成能力大、反應(yīng)穩(wěn)定、原料利用率或轉(zhuǎn)化率高、產(chǎn)品中三氯氫硅含量高的特點(diǎn)。主要用于有色冶金、電子材料和化工等領(lǐng)域。
聲明:
“大型三氯氫硅合成裝置及合成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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