本發(fā)明公開了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法,其技術(shù)方案是:包括鉑粉和鎳粉,所述鉑粉和鎳粉質(zhì)量份數(shù)為:鉑粉05?65份,鎳粉35?95份。包括以下步驟:S1:將鉑粉和鎳粉混合均勻,并過(guò)濾大顆粒雜質(zhì),保留大小均等的粉末狀顆粒;S2:將S1中過(guò)濾后保留下來(lái)的粉末顆粒倒入酒精內(nèi)浸泡清洗,一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是:通過(guò)使用
粉末冶金的方式,區(qū)別于傳統(tǒng)的熔煉方法,粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度,在實(shí)際使用測(cè)試中,其與基材擁有更好的附著性能,使用更加方便可靠,同時(shí)粉末冶金相對(duì)于傳統(tǒng)熔煉方法,使得其制備成本大大降低,制備步驟得到極大優(yōu)化,提高了制備效率,簡(jiǎn)化了制備流程,從而提高其經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)