本發(fā)明提供一種用于確定UMG-Si原料批中的硼和磷濃度的質(zhì)量控制方法。通過來自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅測試錠。測量所述硅測試錠的自上而下的電阻率。然后,映射所述硅測試錠的電阻率分布?;谒龉铚y試錠的所述電阻率分布,計算所述UMG-Si硅原料批的磷和硼濃度。此外,可以在多爐腔晶體生長器中同時生長多個測試錠,其中每個測試錠對應(yīng)于一個UMG-Si原料批。
聲明:
“升級冶金級硅原料的質(zhì)量控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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