本發(fā)明涉及一種銀濺射靶材組件的生產工藝,包括澆鑄、擠壓、拋光、沖壓、安裝背板等步驟,使用純銀作為原料,通過真空感應熔煉獲得鑄錠,然后通過冷熱軋制與熱處理配合獲得具有均勻晶粒度及穩(wěn)定磁透率的濺射靶材,以錸板或銅板作為背板,將背板與銀濺射靶材固定組合在一起,形成銀濺射靶材組件。本發(fā)明提供了一種生產高品質銀濺射靶材的工藝方法,確保濺射靶材內部無氣孔,純凈、密實,避免濺射時產生不正常放電而產生雜質粒子,去除錠塊可能存在的氣孔、降低氮氧含量,使靶材更加緊實。
聲明:
“銀濺射靶材組件的生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)