本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電子束熔煉爐用整料進(jìn)料裝置，其由進(jìn)料箱體、推料機(jī)構(gòu)和進(jìn)料輥道組成；進(jìn)料箱體后端封閉，前端工作時(shí)與爐室連接并聯(lián)通形成真空工作環(huán)境室；推料裝置安裝在進(jìn)料箱體內(nèi)的上部，其包括一由第一電機(jī)減速機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的絲杠及套設(shè)在絲杠上的第一螺母滑塊，第一螺母滑塊的底端固定連接用以推動(dòng)坯料的推動(dòng)桿；一進(jìn)料輥道，其通過(guò)輥道支點(diǎn)和輥道支撐輪安裝在進(jìn)料箱體內(nèi)的底部。進(jìn)料輥道通過(guò)一組絲杠調(diào)節(jié)裝置實(shí)現(xiàn)橫向位移。所述的電子束熔煉爐用整料進(jìn)料裝置中，進(jìn)料輥道的行進(jìn)方式為直線前進(jìn)和擺動(dòng)前進(jìn)方式中的最少一種。其是實(shí)現(xiàn)低成本、高品質(zhì)的冶金物理法制備太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的有效設(shè)備。