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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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電子束淺熔池熔煉提純多晶硅的設備

862 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:32:44

本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅領域。一種電子束淺熔池熔煉提純多晶硅的設備,設備由真空蓋及真空爐壁構成真空設備,真空設備的內腔即為真空室;真空室底部固定安裝熔煉支撐底座,熔煉支撐底座上安裝有套環(huán),熔煉支撐底座內安裝有水冷升降托盤,周圍套環(huán)一側開有導流口,導流口下方安裝有拉錠機構,在真空室的上部安裝電子槍,電子槍束流對準水冷升降托盤上方。本實用新型設備結構簡單,直接使用大塊硅料作為原料以及周圍的套環(huán)形成淺熔池,綜合電子束淺熔池熔煉和定向凝固去除硅中的雜質磷和金屬。減少了能量的損失,提高了生產(chǎn)效率,去除效果良好,集成了除磷和除金屬的雙重效果,適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。

聲明：

“電子束淺熔池熔煉提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)