本發(fā)明涉及用于感測(cè)元件的
氧化鋁擴(kuò)散阻擋體。本發(fā)明還涉及用于溫度感測(cè)器的感測(cè)元件,包括具有施加于其的鉑彎曲體的基底。氧化鋁擴(kuò)散阻擋體(ADB)覆蓋彎曲體以提供抵抗污染的保護(hù)和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,其中氧化鋁擴(kuò)散阻擋體是連續(xù)的多晶層,其由氧化鋁和以重量計(jì)約1%的金紅石添加劑制成以基本上避免網(wǎng)狀孔隙。連續(xù)的多晶層包括具有典型在0.5?3μm范圍內(nèi)的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化鋁擴(kuò)散阻擋體的方法包括以下步驟:將納米氧化鋁和納米金紅石粉末組合以產(chǎn)生配制物;將配制物施加于鉑彎曲體以形成層;將該層燒結(jié)以產(chǎn)生覆蓋鉑彎曲體的連續(xù)的多晶層。
聲明:
“用于感測(cè)元件的氧化鋁擴(kuò)散阻擋體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)