本發(fā)明是一種低溫共燒多層壓電陶瓷，其材料主要組成為yPb(ZrxTi1-x)O3—(1-y-z)Pb(Mn1/3Sb2/3)O3—zPb(Zn1/3Nb2/3)O3，另外添加適量的CuO做助熔劑，以實(shí)現(xiàn)多層膜低溫?zé)Y(jié)。其中，x值為0.40-0.60，y值為0.60-0.88，z值為0.02-0.1，CuO的百分含量為0-0.05。多層膜采用流延法制備，110-500℃之間進(jìn)行排膠，830-850℃低溫?zé)Y(jié)，得到高致密度的多層壓電陶瓷，壓點(diǎn)性能測試三層結(jié)構(gòu)的壓電多層膜陶瓷表觀d33≥875Pc/N，遠(yuǎn)高于同成分單層陶瓷的d33值（306Pc/N）。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了低溫?zé)Y(jié)，避免了高溫?zé)Y(jié)的耗能大、成本高、組分偏差以及PbO的揮發(fā)造成的環(huán)境污染問題，且壓電性能優(yōu)良，d33≥875Pc/N，介電常數(shù)3000-6000，機(jī)電耦合系數(shù)K31≥0.56，滿足多層壓電陶瓷器件要求。