權(quán)利要求書(shū)： 1.一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括卡盤(pán)，卡盤(pán)通過(guò)多個(gè)連接件與夾具板連接，夾具板設(shè)置有用于工件穿過(guò)的開(kāi)孔，開(kāi)孔的孔面固定有柔性墊圈，連接件設(shè)置有位于夾具板一側(cè)的第一壓電堆棧和位于夾具板另一側(cè)的第二壓電堆棧，第一壓電堆棧通過(guò)第一壓緊件壓在夾具板的一側(cè)端面，第二壓電堆棧通過(guò)第二壓緊件壓在夾具板的另一側(cè)端面，夾具板安裝有振動(dòng)傳感器；

所述第一壓電堆棧與第一壓緊件之間設(shè)置有第一壓力傳感器，第二壓電堆棧與第二壓緊件之間設(shè)置有第二壓力傳感器；

所述夾具板上安裝有多個(gè)直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，多個(gè)直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件沿與夾具板中心為圓心的圓周等間隔設(shè)施，直線驅(qū)動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)部連接有推板，推板設(shè)置有與工件形狀相匹配的柔性支撐塊，推板能夠通過(guò)柔性支撐塊對(duì)工件施加壓力。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾具板與卡盤(pán)同軸設(shè)置，所述連接件采用連接桿，多個(gè)連接桿沿以?shī)A具板中心為圓心的圓周均勻分布。

3.如權(quán)利要求1所述的一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，第一壓緊件采用與連接件螺紋連接的第一壓緊螺母，第二壓緊件采用與連接件螺紋連接的第二壓緊螺母。

4.如權(quán)利要求1所述的一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾具板上還安裝有多個(gè)配重塊，配重塊與振動(dòng)傳感器沿同一個(gè)以?shī)A具板中心為圓心的圓周等間隔設(shè)置，且配重塊的重量與振動(dòng)傳感器的重量相等。

5.如權(quán)利要求1所述的一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，柔性支撐塊設(shè)置有卡槽，推板位于卡槽內(nèi)部，推板通過(guò)卡槽與柔性支撐塊可拆卸連接。

6.如權(quán)利要求1所述的一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與調(diào)節(jié)桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，調(diào)節(jié)桿的另一端與固定在夾具板的定位塊螺紋連接。

7.一種磨削加工裝置，其特征在于，設(shè)置有權(quán)利要求1?6任一項(xiàng)所述的用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求7所述的一種磨削加工裝置，其特征在于，所述磨削加工裝置的刀桿安裝有振動(dòng)傳感器及刀桿抑振元件。

說(shuō)明書(shū)： 一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)及磨削加工裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種面向磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)及加工裝置。背景技術(shù)[0002] 這里的陳述僅提供與本發(fā)明相關(guān)的背景技術(shù)，而不必然地構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。[0003] 根據(jù)1米?4米長(zhǎng)的大型薄壁回轉(zhuǎn)體陶瓷工件的超精密磨削加工需求，機(jī)床在加工過(guò)程中由于機(jī)械振動(dòng)、夾具間隙等因素的影響，導(dǎo)致大型薄壁回轉(zhuǎn)體陶瓷工件表面精度較差，難以滿足超精密機(jī)加工精度要求，同時(shí)還有許多常見(jiàn)的裝配間隙，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量等因素的影響，導(dǎo)致機(jī)床超精密磨削過(guò)程出現(xiàn)較大偏差，將嚴(yán)重影響工件表面的加工精度。[0004] 發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，目前大型薄壁回轉(zhuǎn)體陶瓷工件加工時(shí)，僅靠端部的卡盤(pán)進(jìn)行固定，形成懸臂梁結(jié)構(gòu)，工件轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中振動(dòng)大，降低了加工精度，同時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)中，未考慮著不同磨削加工條件下的工件與夾具間隙產(chǎn)生的較大振動(dòng)偏差，使得加工誤差較大，也未考慮刀桿振動(dòng)、工件振動(dòng)、夾具振動(dòng)等問(wèn)題，導(dǎo)致工件旋轉(zhuǎn)過(guò)程出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)等問(wèn)題，對(duì)工件的加工質(zhì)量造成了影響。發(fā)明內(nèi)容[0005] 本發(fā)明的目的是為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，提高了磨削精度和生產(chǎn)效率。[0006] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：[0007] 第一方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，包括卡盤(pán)，卡盤(pán)通過(guò)多個(gè)連接件與夾具板連接，夾具板設(shè)置有用于工件穿過(guò)的開(kāi)孔，開(kāi)孔的孔面固定有柔性墊圈，連接件設(shè)置有位于夾具板一側(cè)的第一壓電堆棧和位于夾具板另一側(cè)的第二壓電堆棧，第一壓電堆棧通過(guò)第一壓緊件壓在夾具板的一側(cè)端面，第二壓電堆棧通過(guò)第二壓緊件壓在夾具板的另一側(cè)端面，夾具板安裝有振動(dòng)傳感器。[0008] 可選的，所述夾具板與卡盤(pán)同軸設(shè)置，所述連接件采用連接桿，多個(gè)連接桿沿以?shī)A具板中心為圓心的圓周均勻分布。[0009] 可選的，所述第一壓電堆棧與第一壓緊件之間設(shè)置有第一壓力傳感器，第二壓電堆棧與第二壓緊件之間設(shè)置有第二壓力傳感器。[0010] 可選的，第一壓緊件采用與連接件螺紋連接的第一壓緊螺母，第二壓緊件采用與連接件螺紋連接的第二壓緊螺母。[0011] 可選的，所述夾具板上還安裝有多個(gè)配重塊，配重塊與振動(dòng)傳感器沿同一個(gè)以?shī)A具板中心為圓心的圓周等間隔設(shè)置，且配重塊的重量與振動(dòng)傳感器的重量相等。[0012] 可選的，夾具板上安裝有多個(gè)直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，多個(gè)直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件沿與夾具板中心為圓心的圓周等間隔設(shè)施，直線驅(qū)動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)部連接有推板，推板設(shè)置有與工件形狀相匹配的柔性支撐塊，推板能夠通過(guò)柔性支撐塊對(duì)工件施加壓力。[0013] 可選的，柔性支撐塊設(shè)置有卡槽，推板位于卡槽內(nèi)部，推板通過(guò)卡槽與柔性支撐塊可拆卸連接。[0014] 可選的，所述直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與調(diào)節(jié)桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，調(diào)節(jié)桿的另一端與固定在夾具板的定位塊螺紋連接。[0015] 第二方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種磨削加工裝置，包括第一方面所述的用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)。[0016] 可選的，所述磨削加工裝置的刀桿安裝有振動(dòng)傳感器及刀桿抑振元件。[0017] 本發(fā)明的有益效果：[0018] 1.本發(fā)明的夾持裝置，通過(guò)設(shè)置夾具板，對(duì)工件起到了支撐對(duì)中作用，防止了工件在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，同時(shí)夾具板上安裝有振動(dòng)傳感器，能夠采集夾具板的實(shí)時(shí)的振動(dòng)信息，考慮了振動(dòng)的隨機(jī)性，當(dāng)振動(dòng)過(guò)大時(shí)，對(duì)第一壓電堆棧和第二壓電堆棧通電，從而通過(guò)第一壓電堆棧和第二壓電堆棧產(chǎn)生振動(dòng)抑制信號(hào)，降低夾具板的振動(dòng)幅度和頻率，避免夾具產(chǎn)生較大振動(dòng)，保證了加工質(zhì)量。[0019] 2.本發(fā)明的夾持裝置，設(shè)置有第一壓力傳感器和第二壓力傳感器，能夠檢測(cè)夾具板受到的壓力信息，從而檢測(cè)出加工過(guò)程中夾具板產(chǎn)生的軸向偏移，此時(shí)第一壓電堆棧和第二壓電堆棧通電，能夠?qū)A具板進(jìn)行位置補(bǔ)償，確保夾具體能夠通過(guò)柔性墊圈與工件貼合，避免出現(xiàn)間隙誤差影響加工精度，較好地解決現(xiàn)有技術(shù)中缺乏相應(yīng)的工件及夾具振動(dòng)抑制與相應(yīng)的間隙補(bǔ)償組合的問(wèn)題，不但可以實(shí)現(xiàn)振動(dòng)抑制，還可以自動(dòng)完成間隙補(bǔ)償及振動(dòng)抑制，提高了磨削精度和生產(chǎn)效率。[0020] 3.本發(fā)明的夾持裝置，具有直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件、推板和柔性支撐塊，能夠?qū)ぜ谘b夾過(guò)程中產(chǎn)生的晃動(dòng)進(jìn)行緩沖，同時(shí)也對(duì)工件的裝夾起到對(duì)中作用。[0021] 4.本發(fā)明的夾持裝置，連接件、直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件、配重塊及振動(dòng)傳感器均是沿圓周等間隔分布，避免了工作狀態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量失穩(wěn)，保證了加工精度。[0022] 5.本發(fā)明的磨削加工裝置，刀桿上安裝有振動(dòng)電機(jī)及振動(dòng)傳感器，能夠檢測(cè)刀桿的振動(dòng)信息并控制振動(dòng)電機(jī)工作，利用振動(dòng)電機(jī)抑制刀桿的振動(dòng)，保證加工精度。附圖說(shuō)明[0023] 構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的限定。[0024] 圖1為本發(fā)明實(shí)施例1整體結(jié)構(gòu)示意圖；[0025] 圖2為本發(fā)明實(shí)施例1整體結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；[0026] 圖3為本發(fā)明實(shí)施例1緩沖氣缸與柔性支撐塊、調(diào)節(jié)桿裝配示意圖；[0027] 其中，1.刀桿，2.螺栓，3.刀桿抑振元件，4.振動(dòng)傳感器，5.回轉(zhuǎn)體工件,6.磨削砂輪,7.連接桿,8.第一壓緊螺母,9.第一壓力傳感器,10.第一壓電堆棧,11.定位塊,12.調(diào)節(jié)桿,13.緩沖氣缸,14.活塞桿,15.推板,16.柔性支撐塊,17.振動(dòng)傳感器,18.卡盤(pán),19.連接桿調(diào)節(jié)螺母,20.第二壓緊螺母,21.第二壓力傳感器,22.第二壓電堆棧,23.配重塊,24.夾具板,25.柔性墊圈。具體實(shí)施方式[0028] 實(shí)施例1[0029] 本實(shí)施例提供了一種用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，如圖1?圖3所示，包括卡盤(pán)18和夾具板24，卡盤(pán)18采用現(xiàn)有的磨削機(jī)床用卡盤(pán)即可。卡盤(pán)18與夾具板24間隔設(shè)定距離且同軸設(shè)置，卡盤(pán)18和夾具板24通過(guò)多個(gè)連接件連接成為一個(gè)整體，傳統(tǒng)的磨削機(jī)床僅僅依靠卡盤(pán)對(duì)工件進(jìn)行固定，當(dāng)加工尺寸較大的薄壁回轉(zhuǎn)體陶瓷工件時(shí)，工件產(chǎn)生的振動(dòng)較大，轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中容易產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，因此本實(shí)施例中設(shè)置夾具板，利用夾具板對(duì)工件的中部位置進(jìn)行支撐，降低了工件在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)。[0030] 連接件采用連接桿7，多個(gè)連接桿7沿以?shī)A具板24中心為圓心的圓周等間隔分布。[0031] 卡盤(pán)18上沿圓周均勻的開(kāi)設(shè)有多個(gè)定位孔，定位孔為螺紋孔，連接桿7通過(guò)定位孔與卡盤(pán)18螺紋連接，且連接桿7上螺紋連接有連接桿調(diào)節(jié)螺母19，連接桿調(diào)節(jié)螺母19壓緊在卡盤(pán)18的表面，保證連接桿7與卡盤(pán)18的連接強(qiáng)度，防止松動(dòng)。[0032] 本實(shí)施例中，卡盤(pán)18上設(shè)置沿圓周等間隔分布的六個(gè)定位孔，其中三個(gè)定位孔用于安裝連接桿7，三個(gè)連接桿7沿圓周等間隔分布。[0033] 三個(gè)連接桿7一端與卡盤(pán)18固定，另一端通過(guò)夾具板24上設(shè)置的安裝孔穿過(guò)夾具板24。[0034] 三個(gè)連接桿7上均安裝有環(huán)狀的第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22，第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22采用現(xiàn)有元件即可，由多個(gè)壓電陶瓷芯片構(gòu)成，通電后能夠產(chǎn)生沿其自身軸線方向的伸縮運(yùn)動(dòng)。[0035] 以其中一個(gè)連接桿7上的第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22的安裝為例進(jìn)行說(shuō)明：[0036] 第一壓電堆棧10套在連接桿7的外周，且位于夾具板24的一側(cè)，連接桿7上連接有第一壓緊元件，通過(guò)第一壓緊元件將第一壓電堆棧壓在夾具板的該側(cè)側(cè)面上。[0037] 第一壓緊元件采用第一壓緊螺母8，第一壓緊螺母8與連接桿7螺紋連接，轉(zhuǎn)動(dòng)第一壓緊螺母8，能夠?qū)⒌谝粔弘姸褩?0壓在夾具板的側(cè)面。[0038] 第一壓緊螺母8與第一壓電堆棧10之間設(shè)置有第一壓力傳感器9，第一壓力傳感器9用于檢測(cè)第一壓電堆棧10對(duì)其施加的壓力信息。

[0039] 第二壓電堆棧22套在連接桿7的外周，且位于夾具板24的另一側(cè)，連接桿7上連接有第二壓緊元件，通過(guò)第二壓緊元件將第二壓電堆棧22壓在夾具板24的該側(cè)側(cè)面上。[0040] 第二壓緊元件采用第二壓緊螺母20，第二壓緊螺母20與連接桿7螺紋連接，轉(zhuǎn)動(dòng)第二壓緊螺母20，能夠?qū)⒌诙弘姸褩?2壓在夾具板的側(cè)面。[0041] 第二壓緊螺母20與第二壓電堆棧22之間設(shè)置有第二壓力傳感器21，第二壓力傳感器21用于檢測(cè)第二壓電堆棧對(duì)其施加的壓力信息。[0042] 第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22均與供電系統(tǒng)連接，能夠利用供電系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行供電。[0043] 夾具板24開(kāi)設(shè)有開(kāi)孔，開(kāi)孔與夾具板24同軸設(shè)置，即開(kāi)孔開(kāi)設(shè)在夾具板24的中心位置，開(kāi)孔的尺寸與待加工的回轉(zhuǎn)體工件5尺寸相匹配，用于回轉(zhuǎn)體工件5穿過(guò)夾具板24后與卡盤(pán)18固定連接。[0044] 開(kāi)孔的孔面固定有柔性墊圈25，本實(shí)施例中，開(kāi)孔的孔面設(shè)置有卡槽，柔性墊圈25通過(guò)卡槽與可拆卸的固定在開(kāi)孔的孔面上。[0045] 柔性墊圈25可采用橡膠材料制成，也可采用其他柔性材料制成，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置即可。[0046] 柔性墊圈25制作多個(gè)，形成一套完善的標(biāo)準(zhǔn)化柔性套件，可以根據(jù)工件不同的外徑結(jié)構(gòu)參數(shù)，更換對(duì)應(yīng)的型號(hào)，并將其安裝在夾具板開(kāi)孔孔面的卡槽內(nèi)，方便拆卸，同時(shí)，由于柔性墊圈25采用柔性材料制成，也具備吸振功能。[0047] 柔性墊圈25的形狀與工件的形狀相匹配，以保證柔性墊圈25能夠更好的固定待加工的工件。[0048] 夾具板24上安裝有振動(dòng)傳感器17，用于檢測(cè)夾具板24的振動(dòng)信息。[0049] 振動(dòng)傳感器17采用現(xiàn)有的振動(dòng)傳感器即可，振動(dòng)傳感器安裝在夾具板24遠(yuǎn)離卡盤(pán)18的側(cè)面上。

[0050] 由于夾具板24上安裝了振動(dòng)傳感器17，因此夾具板在高速轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)慣量失穩(wěn)，因此在夾具板安裝振動(dòng)傳感器的側(cè)面上安裝多個(gè)配重塊23，用于平衡振動(dòng)傳感器的重量。[0051] 配重塊23的重量與振動(dòng)傳感器的重量相同，且振動(dòng)傳感器17與多個(gè)配重塊23安裝在同一個(gè)以?shī)A具板24中心為圓心的圓周上，且振動(dòng)傳感器17與多個(gè)配重塊23等間隔分布。[0052] 本實(shí)施例中，設(shè)置兩個(gè)配重塊23,兩個(gè)配重塊23和一個(gè)振動(dòng)傳感器17在同一個(gè)以?shī)A具板24中心為圓心的圓周上等間隔分布。[0053] 夾具板24用于安裝振動(dòng)傳感器17和配重塊23的側(cè)面上還設(shè)置有多個(gè)定位塊，多個(gè)定位塊11沿以?shī)A具板中心為圓形的圓周等間隔設(shè)置，本實(shí)施例中設(shè)置六個(gè)定位塊。[0054] 其中三個(gè)定位塊11通過(guò)調(diào)節(jié)桿12與直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件連接，且直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件沿以?shī)A具體中心為圓心的圓周等間隔分布，調(diào)節(jié)桿沿夾具板的徑向方向設(shè)置，能夠沿夾具板的徑向調(diào)節(jié)直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件的位置，滿足不同尺寸工件的使用需求。[0055] 本實(shí)施例中，直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件采用緩沖氣缸13，緩沖氣缸13具有三個(gè)活塞桿14。[0056] 調(diào)節(jié)桿12的一端與定位塊11螺紋連接，另一端通過(guò)軸承與緩沖氣缸13的缸體轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)桿12，能夠沿夾具板的徑向調(diào)節(jié)緩沖氣缸13的位置。[0057] 緩沖氣缸13的三個(gè)活塞桿14的端部固定連接至推板15，活塞桿14能夠帶動(dòng)推板15沿夾具板24的徑向運(yùn)動(dòng)，推板15設(shè)置有柔性支撐塊16，柔性支撐塊16的形狀與工件的形狀相匹配，柔性支撐塊16能夠隨推板做同步運(yùn)動(dòng)，推板15能夠通過(guò)柔性支撐塊16對(duì)工件施加荷載。[0058] 推板15采用具備微變形功能的金屬材料制成，以滿足不同的工件面結(jié)構(gòu)，緩沖氣缸能夠通過(guò)內(nèi)部氣壓的調(diào)節(jié)調(diào)整壓力輸出，進(jìn)而使得三個(gè)活塞桿14能夠輸出力能夠調(diào)節(jié)。[0059] 本實(shí)施例中，柔性支撐塊16設(shè)置有卡槽，推板設(shè)置在卡槽內(nèi)部并通過(guò)卡槽與柔性支撐塊16可拆卸卡接固定。[0060] 柔性支撐塊16制作多個(gè)，形成一套完善的零部件，可以根據(jù)不同的工件結(jié)構(gòu)參數(shù)，更換不同柔性和不同弧度角度的型號(hào)，柔性支撐塊通過(guò)卡槽與推板15連接，方便拆卸。[0061] 通過(guò)設(shè)置緩沖氣缸13、推板15和柔性支撐塊16，能夠?qū)ぜ谘b夾過(guò)程中產(chǎn)生的晃動(dòng)進(jìn)行緩沖，同時(shí)也對(duì)工件的裝夾起到對(duì)中作用。[0062] 本實(shí)施例中，當(dāng)振動(dòng)傳感器17實(shí)時(shí)采集加工過(guò)程中的振動(dòng)信息，當(dāng)振動(dòng)過(guò)大時(shí)，對(duì)第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22通電，從而通過(guò)第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22產(chǎn)生振動(dòng)抑制信號(hào)，第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22產(chǎn)生伸縮運(yùn)動(dòng)增大對(duì)夾具板24的夾緊力，降低夾具板24的振動(dòng)幅度和頻率，避免夾具產(chǎn)生較大振動(dòng)，保證了加工質(zhì)量。[0063] 同時(shí)，第一壓力傳感器9和第二壓力傳感器21能夠采集到第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22受到的壓力值，當(dāng)采集的壓力值產(chǎn)生較大變化時(shí)，說(shuō)明夾具板24產(chǎn)生了軸向位移，此時(shí)第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22通電，能夠?qū)A具板24進(jìn)行位置補(bǔ)償，確保夾具板24能夠通過(guò)柔性墊圈25與工件貼合，避免出現(xiàn)間隙誤差影響加工精度，較好地解決現(xiàn)有技術(shù)中缺乏相應(yīng)的工件及夾具振動(dòng)抑制與相應(yīng)的間隙補(bǔ)償組合的問(wèn)題，不但可以實(shí)現(xiàn)振動(dòng)抑制，還可以自動(dòng)完成間隙補(bǔ)償及振動(dòng)抑制，提高了磨削精度和生產(chǎn)效率。[0064] 本實(shí)施例中，連接桿7、緩沖氣缸13、配重塊23及振動(dòng)傳感器均是沿圓周等間隔分布，避免了工作狀態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量失穩(wěn)，保證了加工精度。[0065] 實(shí)施例2[0066] 本實(shí)施例提供了一種磨削加工裝置，設(shè)置有實(shí)施例1所述的用于磨削加工的柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，還包括刀桿1，刀桿的端部設(shè)置有磨削砂輪6，刀桿1通過(guò)螺栓2固定有振動(dòng)傳感器4和刀桿抑振元件3，本實(shí)施例中的刀桿抑振元件3采用超聲馬達(dá)，可以理解的是，抑振元件也可采用微型振動(dòng)電機(jī)等，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇。

[0067] 本實(shí)施例中的振動(dòng)傳感器、壓力傳感器、供電系統(tǒng)、刀桿抑振元件3、緩沖氣缸13等部件均與控制系統(tǒng)連接，振動(dòng)傳感器、壓力傳感器能夠?qū)⒉杉男畔魉徒o控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制供電系統(tǒng)、刀桿抑振元件3、緩沖氣缸13等部件的工作，實(shí)現(xiàn)了隨著加工過(guò)程自動(dòng)達(dá)到砂輪及夾具振動(dòng)抑制、間隙誤差補(bǔ)償?shù)哪康摹0068] 磨削加工裝置的其他結(jié)構(gòu)采用現(xiàn)有磨削機(jī)床的結(jié)構(gòu)即可，在此不進(jìn)行詳細(xì)敘述。[0069] 采用本實(shí)施例的磨削加工裝置，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，作業(yè)質(zhì)量好，作業(yè)可靠，通用化程度高，完全滿足了大型薄壁回轉(zhuǎn)體陶瓷工件的超精密磨削加工過(guò)程對(duì)高精度磨削振動(dòng)抑制、誤差補(bǔ)償系統(tǒng)及高精度控制方法的要求。[0070] 本實(shí)施例的磨削加工裝置的工作方法為：[0071] 當(dāng)對(duì)大型薄壁回轉(zhuǎn)體零部件進(jìn)行超精密磨削加工時(shí)，首先需要根據(jù)，回轉(zhuǎn)體工件5的結(jié)構(gòu)外型參數(shù)尺寸，選擇三根配套的連接桿7，并調(diào)整好三根連接桿7上第二壓緊螺母20、第二壓力傳感器21和環(huán)形的第二壓電堆棧22安裝位置，且保證各結(jié)構(gòu)對(duì)其，并調(diào)整夾具板24與機(jī)床基準(zhǔn)面平行，調(diào)整并安裝第一壓緊螺母8、第一壓力傳感器9和環(huán)形的第一壓電堆棧10的位置，調(diào)整好各個(gè)環(huán)形的壓電堆棧與夾具板之間的接觸力；選擇與工件結(jié)構(gòu)參數(shù)匹配的柔性墊圈25型號(hào)，將其安裝在夾具板24開(kāi)孔中，并固定好；選擇三套與工件結(jié)構(gòu)參數(shù)匹配的柔性支撐塊16，并將其安裝在推板15上；將回轉(zhuǎn)體工件5末端卡在機(jī)床的卡盤(pán)18上并定好位置，調(diào)整好夾具板24上的柔性墊圈25與回轉(zhuǎn)體工件5之間的位置，確保回轉(zhuǎn)體工件5能夠與柔性墊圈25貼合；通過(guò)調(diào)整三套調(diào)節(jié)桿12實(shí)現(xiàn)柔性支撐塊與回轉(zhuǎn)體工件完美貼合，完成夾具裝夾；選用合適的刀桿1和磨削砂輪6，調(diào)整并安裝好刀桿抑振元件3在振動(dòng)傳感器4在刀桿1上的位置；

[0072] 啟動(dòng)機(jī)床開(kāi)始加工過(guò)程中，磨削砂輪6與回轉(zhuǎn)體工件5接觸，同時(shí)如果檢測(cè)到振動(dòng)傳感器在刀桿1產(chǎn)生振動(dòng)信號(hào)，刀桿抑振元件3會(huì)開(kāi)始產(chǎn)生振動(dòng)抑制信號(hào)，降低刀桿1的振動(dòng)幅度；如果通過(guò)第一壓力傳感器9和第二壓力傳感器21檢測(cè)到夾具板24出現(xiàn)較小偏移，三套環(huán)形的第二壓電堆棧22和第一壓電堆棧10協(xié)同工作，同時(shí)對(duì)夾具板24進(jìn)行位置補(bǔ)償，確保夾具板24能夠與回轉(zhuǎn)體工件5通過(guò)柔性墊圈25完美貼合，避免出現(xiàn)間隙誤差影響加工精度；同時(shí)如果夾具板24上的振動(dòng)傳感器檢測(cè)到夾具板有較大的振動(dòng)信號(hào)，三套環(huán)形的第一壓電堆棧10和第二壓電堆棧22將開(kāi)始工作，產(chǎn)生相應(yīng)的振動(dòng)抑制信號(hào)，增大對(duì)夾具板24的夾緊力，降低夾具板的振動(dòng)幅度和頻率避免回轉(zhuǎn)體工件出現(xiàn)較大振動(dòng)，提高加工質(zhì)量。

[0073] 上述雖然結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但并非對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本發(fā)明的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動(dòng)即可做出的各種修改或變形仍在本發(fā)明的保護(hù)范圍以內(nèi)。