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用于濺射透明導電薄膜的靶材

685   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:29:40
本申請?zhí)峁┝艘环N用于濺射透明導電薄膜的靶材,包括氧化物組分、硫化物組分、顆粒添加組分,并且引入核殼結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換材料顆粒,核殼結(jié)構(gòu)的殼由拓撲絕緣體形成,所述殼結(jié)構(gòu)中的拓撲絕緣體在顆粒表面形成高導電區(qū)域,并且對各個材料作進一步限定,降低了透明導電薄膜的靶材制備成本的問題,并且賦予透明導電薄膜能夠?qū)⑼ㄟ^透明導電薄膜的非可見光波段轉(zhuǎn)化成可見光,使透明導電薄膜在光應用領(lǐng)域更廣泛。
聲明:
“用于濺射透明導電薄膜的靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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