亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> 用于半導(dǎo)體工藝后段制程的聚合物殘留去除方法

用于半導(dǎo)體工藝后段制程的聚合物殘留去除方法

1154   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:01:44
一種在半導(dǎo)體工藝后段制程中用于清除介電層刻蝕后殘留在硅片上的聚合物的方法。現(xiàn)有的去膠方法存在聚合物無(wú)法徹底清除,造成出貨鏡檢失效率超標(biāo)的問(wèn)題。本發(fā)明的用于半導(dǎo)體工藝后段制程的聚合物殘留去除方法,包括下列步驟:(1)對(duì)刻蝕后的硅片進(jìn)行干法去膠;(2)對(duì)經(jīng)過(guò)步驟(1)處理的硅片進(jìn)行濕法清洗;于步驟(2)之后再作一步干法去膠步驟。利用本發(fā)明的聚合物殘留去除方法,可使出貨鏡檢失效率降為零,并達(dá)到幾乎不增加成本而提高良率的有益效果。適用于壓點(diǎn)、通孔、接觸孔等容易形成聚合物殘留的集成電路結(jié)構(gòu)。
聲明:
“用于半導(dǎo)體工藝后段制程的聚合物殘留去除方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
失效分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記