本實用新型公開了一種半導(dǎo)體器件用切片模具,包括模具主體(1)和底座(2);模具主體為中空柱狀結(jié)構(gòu),模具主體的橫截面為正多邊形結(jié)構(gòu),且模具主體的橫截面棱邊數(shù)為雙數(shù);模具主體縱向置放在底座上,且底座能完全覆蓋模具主體的底部開口處;半導(dǎo)體器件設(shè)置在模具主體內(nèi),并通過樹脂澆筑固化成厚板狀的樹脂樣品(3)。所述的模具主體的橫截面棱邊數(shù)為8。本實用新型能使固化后的樹脂樣品從一側(cè)直接進(jìn)行研磨至半導(dǎo)體器件的觀察面,并在相對側(cè)形成有相互平行的支撐面,便于顯微鏡對縱向設(shè)置的樹脂樣品的觀察面進(jìn)行產(chǎn)品失效分析,減少研磨時間和人力,減少研磨砂紙和樹脂原料的消耗,提高工作效率。
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“半導(dǎo)體器件用切片模具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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