本實(shí)用新型涉及應(yīng)用于掃描電子顯微鏡的樣品座,屬于半導(dǎo)體
芯片制造行業(yè)的失效分析領(lǐng)域。該樣品座包括底座、設(shè)置于底座頂部的金屬平臺(tái)以及位于金屬平臺(tái)的工作面的彈性?shī)A具,芯片樣品直接放置在金屬平臺(tái)的工作面,所述彈性?shī)A具壓住芯片樣品、并將芯片樣品固定于金屬平臺(tái)的工作面。本實(shí)用新型避免了使用現(xiàn)有技術(shù)中的雙面導(dǎo)電膠,增加了導(dǎo)電性、改善了SEM圖像質(zhì)量,避免了取樣時(shí)的破損,減少了污染,節(jié)約了成本。
聲明:
“應(yīng)用于掃描電子顯微鏡的樣品座” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)