本發(fā)明一種微光顯微鏡偏置裝置，包括外部電源、上位機(jī)、處理器、雙通道測(cè)試工位、多陣列撥碼開關(guān)、系統(tǒng)接口和驅(qū)動(dòng)模塊；外部電源對(duì)被測(cè)器件、測(cè)試模塊和驅(qū)動(dòng)模塊供電；上位機(jī)發(fā)送控制信號(hào)給處理器，處理器對(duì)控制信號(hào)進(jìn)行處理得到電壓信號(hào)，之后通過系統(tǒng)接口發(fā)送給驅(qū)動(dòng)模塊，驅(qū)動(dòng)模塊同時(shí)對(duì)雙通道測(cè)試工位及多陣列撥碼開關(guān)進(jìn)行選通及控制，每個(gè)通道均通過撥碼開關(guān)提供多種偏置電壓及測(cè)試模式，用于微光顯微鏡中集成電路缺陷的定位和失效的檢查。本發(fā)明能夠?qū)ξ⒐怙@微鏡中的器件提供特定的偏置條件，運(yùn)行真值表測(cè)試文件和按照測(cè)試向量對(duì)器件進(jìn)行功能測(cè)試，并且能夠進(jìn)行單步執(zhí)行、固定偏置綁定以及測(cè)試程序循環(huán)等模式的偏置和測(cè)試。