本實用新型公開了一種載臺及載具,所述載臺包括,一第一夾板;一第二夾板,與第一夾板相對設置;一安裝板,一體連接于第二夾板,且第一夾板與安裝板設置于第二夾板的兩側(cè);至少一緊固件,連接于第一夾板和第二夾板之間;一凹槽,設置于第二夾板靠近第一夾板的一側(cè);以及一夾持凸塊,設置于第一夾板靠近第二夾板的一側(cè),且對應于所述第二夾板的所述凹槽,使所述夾持凸塊與所述凹槽接合,借此將待處理樣品固定于所述凹槽中。利用本實用新型,采用夾取的方式固定待處理樣品時溫度低,不僅避免了待處理樣品中失效信息的破壞,失效分析結(jié)果更準確,而且無燙傷風險;同時對待處理樣品固定更穩(wěn)固,調(diào)平精度高,能制作出質(zhì)量更好的截面。
聲明:
“載臺及載具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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