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真空獲得系統(tǒng)

977 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 09:00:41

本發(fā)明公開了一種真空獲得系統(tǒng),包括分子泵,分子泵的入口通過入口閥與反應室連接,分子泵的出口通過排出閥與真空泵連接,還包括分子泵保護裝置,根據(jù)檢測到的報警信號,控制關閉分子泵的入口閥或排出閥;分子泵保護裝置包括報警裝置,用于檢測分子泵入口壓力、出口壓力及系統(tǒng)中各設備工作情況,當壓力超過設定值或設備工作異常時,由分子泵保護控制裝置通過互鎖電路控制關閉入口閥或排出閥,保護分子泵不受損壞;還包括互鎖屏蔽電路,可使互鎖電路失效,并由控制信號單獨控制入口閥或排出閥。本發(fā)明涉及微電子領域,用于真空獲得系統(tǒng)分子泵的安全運行保護措施。

聲明：

“真空獲得系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)