亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> 制備半導(dǎo)體樣品的方法

制備半導(dǎo)體樣品的方法

1037   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:40
本發(fā)明公開了一種制備半導(dǎo)體樣品的方法,包括:(a)提供前端器件結(jié)構(gòu),前端器件結(jié)構(gòu)上具有金屬間介電層,金屬間介電層中具有大馬士革結(jié)構(gòu);(b)在大馬士革結(jié)構(gòu)中和金屬間介電層上形成金屬層,金屬層高于金屬間介電層;(c)對(duì)步驟(b)形成的結(jié)構(gòu)進(jìn)行減薄處理,形成半導(dǎo)體樣品。采用本發(fā)明的方法來制作具有大馬士革結(jié)構(gòu)的TEM觀察樣品,能夠有效解決傳統(tǒng)工藝中的TEM觀察樣品減薄處理后其結(jié)構(gòu)發(fā)生扭曲變形的問題,提高制備具有大馬士革結(jié)構(gòu)的TEM觀察樣品的可靠性和準(zhǔn)確性,進(jìn)而提高通過其觀測結(jié)構(gòu)所進(jìn)行的失效分析的準(zhǔn)確性和可靠性。并且本實(shí)施例的方法實(shí)施難度小、實(shí)施成本較低,具有很高的實(shí)用性。
聲明:
“制備半導(dǎo)體樣品的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記