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接觸墊、平板圖像探測器及其制作方法

1102   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:35
一種接觸墊、平板圖像探測器及其制作方法,所述接觸墊括:設(shè)置在襯底上方的底層導(dǎo)電結(jié)構(gòu);設(shè)置在襯底及底層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)上方的絕緣層,絕緣層中設(shè)置有暴露部分底層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)上表面的頂部過孔;設(shè)置在絕緣層上方且覆蓋在頂部過孔底部及側(cè)壁上的中間導(dǎo)電層;設(shè)置在中間導(dǎo)電層上方、并與中間導(dǎo)電層接觸的表層導(dǎo)電層。通過在接觸墊中增設(shè)中間導(dǎo)電層,解決了接觸墊中異方性導(dǎo)電膜的有效壓合位置到頂部過孔底部之間的導(dǎo)電層具有較大電阻,及接觸墊中表層導(dǎo)電層容易斷裂導(dǎo)致接觸墊失效概率大的問題。
聲明:
“接觸墊、平板圖像探測器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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