一種接觸式MEMS開關(guān)壽命測試的方法和儀器,屬接觸式MEMS開關(guān)器件測試技術(shù)領(lǐng)域,該方法利用連續(xù)方波脈沖信號驅(qū)動被測接觸式MEMS開關(guān)的上、下電極,在該開關(guān)正常,即第一、二接觸點間有開關(guān)動作時,計數(shù)器計數(shù)連續(xù)方波脈沖信號的脈沖個數(shù),直至該開關(guān)疲勞失效,即第一、二接觸點間無開關(guān)動作時,計數(shù)器停止計數(shù),顯示器顯示的數(shù)字就是該被測開關(guān)的壽命指標,該儀器由方波發(fā)生器10、脈沖幅度轉(zhuǎn)換器20、測試架30、開關(guān)動作監(jiān)視器40、二輸入端與門50、七位十進計數(shù)器及顯示器60、指示器70和電源80組成,有線路抗干擾性能好,結(jié)構(gòu)簡單,元器件通用,測試效率高,每測試一個開關(guān),時間僅為2~3min等優(yōu)點,本發(fā)明特別適于用來測試接觸式MEMS開關(guān)的壽命。
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“接觸式MEMS開關(guān)壽命測試的方法和儀器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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