本實(shí)用新型公開(kāi)了一種效能偵測(cè)裝置,包括速率偵測(cè)裝置和位移偵測(cè)裝置,速率偵測(cè)裝置包括速率傳感器和發(fā)光二極管,位移偵測(cè)裝置包括第一位移傳感器和第二位移傳感器;速率偵測(cè)裝置位于固定盤(pán)和拋光墊整修器的側(cè)面,并對(duì)準(zhǔn)拋光墊整修器;位移偵測(cè)裝置位于固定盤(pán)的上方,并對(duì)準(zhǔn)固定盤(pán)和拋光墊。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:實(shí)現(xiàn)了及時(shí)發(fā)現(xiàn)拋光墊整修器及整修裝備的故障或失效,減少拋光墊整修器作虛功,提高生產(chǎn)效率的效果;以及起到了精確掌控拋光墊整修器運(yùn)轉(zhuǎn)情況及效能,和提早偵錯(cuò)并及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及了解效能衰退幅度,減少停機(jī)檢查維修的頻率,提高生產(chǎn)效率的作用。
聲明:
“效能偵測(cè)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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