本發(fā)明提供一種氧化膜硅基產(chǎn)品磷含量的測(cè)試方法，包括使用二次質(zhì)譜儀檢測(cè)一級(jí)標(biāo)樣的離子強(qiáng)度，計(jì)算出RSF值，利用RSF值計(jì)算出二級(jí)標(biāo)樣的磷元素濃度，與已知二級(jí)標(biāo)樣的磷元素濃度對(duì)比，在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)則利用此RSF值計(jì)算待測(cè)樣片和區(qū)熔樣片的磷元素濃度，檢測(cè)區(qū)熔樣片和待測(cè)樣片的離子強(qiáng)度計(jì)算出磷元素濃度，用待測(cè)樣片的臨時(shí)磷元素濃度減去區(qū)熔樣片磷元素濃度得到最終待測(cè)樣片的磷元素濃度。本發(fā)明的有益效果是有效的解決磷含量過(guò)高會(huì)導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品失效；利用現(xiàn)有檢測(cè)技術(shù)測(cè)試出來(lái)的元素濃度存在不確定性，不能去除背景環(huán)境對(duì)磷元素含量的影響以及不能確定RSF值是否正確的問(wèn)題。