本發(fā)明涉及微納器件測試技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種性能測試方法,包括在不同的溫度環(huán)境下對待測樣品進行測試,獲取待測樣品的諧振頻率溫度系數(shù);將待測樣品固定于紅外成像設(shè)備上,將紅外成像設(shè)備加熱至預設(shè)溫度;向待測樣品施加預設(shè)輸入功率,使用紅外成像設(shè)備對待測樣品進行成像測試,獲取待測樣品在預設(shè)輸入功率條件下的表面溫度場信息;保持待測樣品上施加的預設(shè)輸入功率不變的情況下,測試獲取待測樣品的特征頻率;根據(jù)諧振頻率溫度系數(shù)和特征頻率,計算獲取待測樣品在預設(shè)輸入功率條件下的等效溫升。通過獲取在預設(shè)功率負載下待測樣品的表面溫度場信息以及等效溫升值,為相關(guān)產(chǎn)品的設(shè)計、可靠性評價及分析、失效機理建模等工作提供可靠的支撐。
聲明:
“性能測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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