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用于儲存真空計校準參數及測量數據于真空計結構上的方法及裝置

1010 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 09:00:13

一種用以借由組合離子化真空計與至少一其它的真空感測器來測量氣體壓力的方法及裝置。耦接于真空計的非依電性記憶體含有依據工廠校準而定的各個個別感測器唯一的校準參數。該非依電性記憶體可含有用于一熱敏真空感測器的校準參數,以補償由該離子化真空計所產生的溫度梯度。該等校準參數是當離子化真空計開啟及關閉時所判斷的校準數據的函數。該非依電性記憶體可儲存該真空計的一視窗的測試數據,該非依電性記憶體更新于預定的時間間隔及回應于一諸如錯誤事件的事件,以協(xié)助調查真空計故障或失效的原因。

聲明：

“用于儲存真空計校準參數及測量數據于真空計結構上的方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)