本實(shí)用新型涉及材料力學(xué)性能測(cè)試設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多功能原位力學(xué)測(cè)試裝置及其設(shè)備。多功能原位力學(xué)測(cè)試裝置包括底座、至少兩個(gè)連接桿、測(cè)試探頭、控制系統(tǒng)以及壓力測(cè)試系統(tǒng)；底座用于與材料分析測(cè)試設(shè)備密封連接；連接桿之間相互連接，得到連接體，連接體的一端與底座連接，另一端與測(cè)試探頭連接；控制系統(tǒng)控制不同連接桿的運(yùn)動(dòng)；壓力測(cè)試系統(tǒng)用于監(jiān)測(cè)和控制測(cè)試探頭的施加應(yīng)力。本實(shí)用新型提供的多功能原位力學(xué)測(cè)試裝置，通過SEM、FIB上現(xiàn)有的接口直接插入，可以利用掃描電鏡的高分辨率成像，實(shí)現(xiàn)納米材料和結(jié)構(gòu)的原位測(cè)試和觀測(cè)的實(shí)驗(yàn)分析目的，觀察材料在測(cè)試和失效過程中的動(dòng)態(tài)應(yīng)變和微觀結(jié)構(gòu)的變化，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精確定位和觀測(cè)分析。