本發(fā)明涉及ESD設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，它涉及一種ESD設(shè)備運(yùn)行狀況監(jiān)測(cè)裝置及其監(jiān)測(cè)方法，其技術(shù)方案要點(diǎn)是：一種ESD設(shè)備運(yùn)行狀況監(jiān)測(cè)裝置，其包括檢測(cè)單元；所述檢測(cè)單元用于根據(jù)ESD設(shè)備的電容器充放電過程中的電壓，采用預(yù)設(shè)的判定規(guī)則判定ESD設(shè)備的運(yùn)行是否正常。根據(jù)本發(fā)明提供的技術(shù)方案,由于檢測(cè)單元可以根據(jù)ESD設(shè)備的電容器充放電過程中的電壓，采用預(yù)設(shè)的判定規(guī)則判定ESD設(shè)備的運(yùn)行是否正常，從而作業(yè)人員在ESD設(shè)備工作時(shí)可以隨時(shí)了解ESD設(shè)備的運(yùn)行狀況，當(dāng)ESD設(shè)備運(yùn)行不正常時(shí)，可以及時(shí)對(duì)ESD設(shè)備進(jìn)行維修或更換，可有效防止ESD設(shè)備靜電防護(hù)失效的情況發(fā)生。