本發(fā)明涉及一種檢測裝置的制作方法,屬于微型電子器件技術(shù)領(lǐng)域。該制作方法包括:一待測試金屬結(jié)構(gòu)部件,在所述待測試金屬結(jié)構(gòu)部件上設(shè)置聲阻擋層;在所述聲阻擋層上設(shè)置聲表面波傳感器,其中,在對所述待測試金屬結(jié)構(gòu)部件進行測試時,所述聲阻擋層使所述聲表面波傳感器產(chǎn)生的聲表面波作用于所述待測試金屬結(jié)構(gòu)部件的表面。該制作方法將聲表面波傳感器與待測試的金屬結(jié)構(gòu)件集成在一起,解決了采用粘結(jié)劑可能會發(fā)生開裂、崩落等現(xiàn)象,導(dǎo)致聲表面波傳感器的失效、損壞甚至脫落的技術(shù)問題,同時,通過聲阻擋層使聲表面波傳感器產(chǎn)生的聲表面波作用于待測試金屬結(jié)構(gòu)部件的表面,使得傳感器具有更高的品質(zhì)因數(shù)、諧振性能和測試靈敏度。
聲明:
“檢測裝置的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)