一種檢測半導體器件熱載流子效應的方法,包括:選取退化表征量;在各個電應力條件下,在至少兩個測量段內(nèi)測量所述退化表征量,其中在各測量段內(nèi)至少獲得三個測量值;根據(jù)所述退化表征量的測量值,獲得斜率隨所述退化表征量變化的關(guān)系,其中所述斜率表示所述退化表征量隨時間變化的關(guān)系;選取估算段內(nèi)的各個估算時間點;根據(jù)所獲得的斜率隨所述退化表征量變化的關(guān)系,獲得各個估算時間點的退化表征量的估算值;在失效標準兩端至少各選取一個估算值,求得失效標準對應的時間。根據(jù)所述方法估算器件壽命的檢測結(jié)果更精確。
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