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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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雙極IC中集電極發(fā)射極漏電的三極管檢測方法

1063 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:59:59

隨著微電子技術的高速發(fā)展，集成電路的規(guī)模越來越大。由于制造工藝的原因，電路失效是無法避免的存在，如何快速準確地查找失效部位是失效分析工作的重點?，F(xiàn)在一般通過EMMI（紅外發(fā)光顯微鏡）、OBIRCH（激光掃描顯微鏡激光誘導電阻率變化）、離子探針等技術來定位漏電失效部位，但這些方法儀器昂貴、成本高、周期長。本發(fā)明利用IC不同濃度的摻雜區(qū)在被氧化腐蝕時所處的電位不等，反應速率不一樣，經腐蝕后表面產生不同的顏色；而當存在漏電通路時，由于處于同一電位，腐蝕速率相同，顏色就會表現(xiàn)一樣的原理。通過氫氟酸與硝酸混合液對IC中的硅產生持續(xù)腐蝕作用，提供了一種分析方便、成本低廉、可靠性高的IC中集電極發(fā)射極漏電的三極管檢測方法。

聲明：

“雙極IC中集電極發(fā)射極漏電的三極管檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)