一種檢測(cè)半導(dǎo)體器件的靜電放電性能的方法。所述檢測(cè)半導(dǎo)體器件的靜電放電性能的方法包括:收集在靜電放電測(cè)試中半導(dǎo)體器件所有測(cè)試管腳的失效電壓;對(duì)所獲得的失效電壓數(shù)據(jù)進(jìn)行概率分布統(tǒng)計(jì);基于所獲得的失效電壓數(shù)據(jù)的概率分布,獲得外推最低電壓;若外推最低電壓與所獲得的失效電壓數(shù)據(jù)中的最低值的差值小于臨界范圍,則以所述最低值與靜電放電參考值比較,獲得檢測(cè)結(jié)果;若外推最低電壓與所獲得的失效電壓數(shù)據(jù)中的最低值的差值大于或等于臨界范圍,則重新進(jìn)行靜電放電測(cè)試,或者,進(jìn)行原因分析以及工藝和/或靜電保護(hù)設(shè)計(jì)改進(jìn)。所述檢測(cè)半導(dǎo)體器件的靜電放電性能的方法,其準(zhǔn)確性較高,也節(jié)省了檢測(cè)成本。
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