本發(fā)明提供一種層疊MIM電容檢測(cè)結(jié)構(gòu),所述層疊MIM電容檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括第一電極及第二電極,所述層疊MIM電容檢測(cè)結(jié)構(gòu)包括:第一MIM電容單元、第二MIM電容單元及二極管;所述第一MIM電容單元及所述第二MIM單元二者中任一者與所述二極管串聯(lián)以形成串聯(lián)結(jié)構(gòu),另一者與所述串聯(lián)結(jié)構(gòu)并聯(lián)以形成并聯(lián)結(jié)構(gòu);所述并聯(lián)結(jié)構(gòu)連接于所述第一電極與所述第二電極之間。通過在所述第一MIM電容單元或所述第二MIM電容單元上串聯(lián)所述二極管,可以簡(jiǎn)便快捷地檢測(cè)出失效的MIM電容單元,大大節(jié)省了檢測(cè)時(shí)間,進(jìn)而提高了檢測(cè)效率。
聲明:
“層疊MIM電容檢測(cè)結(jié)構(gòu)及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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