本發(fā)明旨在幫助避免在熱處理時(shí)的晶片損失。晶片具有每批高達(dá)150000歐元的價(jià)值。因此,應(yīng)不再出現(xiàn)用于處理晶片的熱學(xué)裝置的意外失效。監(jiān)控用于對(duì)晶片組或晶片批次進(jìn)行容納和退火的(多個(gè))熱學(xué)裝置100的所提出的方法在熱學(xué)裝置的多個(gè)加熱區(qū)1′、2′、3′、4′、5′中的至少一個(gè)加熱區(qū)1′中使用對(duì)電阻值R
1持續(xù)施加的測(cè)量。將在所屬的加熱區(qū)1′中的電阻1的各當(dāng)前測(cè)量的值R
1(i)與同一電阻1的之前測(cè)量的值R
1(i?1)進(jìn)行比較。在出自相同的加熱區(qū)1′的兩個(gè)電阻值通過(guò)比較檢測(cè)出偏差ΔR
i的情況下就已生成用于熱學(xué)裝置100的警告或警報(bào)90,所述警告或警報(bào)在時(shí)間上處于在熱學(xué)裝置100中的整個(gè)加熱區(qū)1失效之前。另一目的是資源的更好的可規(guī)劃性。
聲明:
“多區(qū)立式爐的實(shí)時(shí)監(jiān)視與及早識(shí)別熱區(qū)元件的失效” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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