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MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法

810   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:34
本發(fā)明涉及MEMS器件,具體是一種MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法。本發(fā)明解決了當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時無法原位實時地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型的問題。一種MEMS器件原位實時測試塢,包括測試座板、電池、電源管理芯片、MEMS器件、傳感器陣列、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、微處理器、存儲器、無線發(fā)射器、無線接收器、上位機;所述傳感器陣列包括溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場傳感器、高度傳感器、振動傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器。本發(fā)明適用于航空、航天、國防等領(lǐng)域。
聲明:
“MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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