本發(fā)明提供了一種SRAM失效在線測(cè)試方法,包括:獲取晶圓圖像,圖像包括多個(gè)SRAM的圖形;對(duì)圖像進(jìn)行處理,獲取SRAM圖形的特征值;通過(guò)特征值提取相鄰圖形之間的最小距離;若最小距離小于閾值,則判斷SRAM已失效。在本發(fā)明提供的SRAM失效在線測(cè)試方法中,通過(guò)獲取SRAM的圖形,對(duì)SRAM圖形的處理提取SRAM圖形的特征值,根據(jù)特征值判斷相鄰的SRAM圖形的間距,從而判斷相鄰的SRAM圖形是否有短路連接。本發(fā)明實(shí)施例提供的SRAM失效在線測(cè)試方法可以在線判斷SRAM是否短路,實(shí)時(shí)識(shí)別晶圓是否出現(xiàn)不良,減少晶圓不良品的判斷的時(shí)間,提高工作效率,提升晶圓的良率。
聲明:
“SRAM失效在線測(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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