本發(fā)明公開了一種大規(guī)模集成互連電遷移失效快速自動(dòng)測試方法,主要解決現(xiàn)有技術(shù)的測試成本高、測試規(guī)模小的問題。其實(shí)現(xiàn)方案是:利用反熔絲在編程前后電阻發(fā)生巨大變化這一特性,在集成互連線的焊盤上通過平面集成工藝制作反熔絲,形成互連和反熔絲并聯(lián)的結(jié)構(gòu),將大量的該互連-反熔絲單元結(jié)構(gòu)串聯(lián)起來即形成大規(guī)模集成互連多鏈接結(jié)構(gòu),在該多鏈接結(jié)構(gòu)兩端分別連接測試電流源和電壓表進(jìn)行電遷移失效測試,并記錄多鏈接結(jié)構(gòu)兩端的電壓下降跳變點(diǎn)時(shí)間,作為互連的失效時(shí)間。本發(fā)明具有測試成本低、測試效率高的優(yōu)點(diǎn),可用于大規(guī)模集成互連電遷移失效的測試。
聲明:
“大規(guī)模集成互連電遷移失效測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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