本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N芯片失效類(lèi)型測(cè)試系統(tǒng)，包括：檢測(cè)裝置，用于輸出檢測(cè)信號(hào)至待測(cè)芯片；處理裝置，與檢測(cè)裝置通信連接，且與待測(cè)芯片通信電連接，處理裝置用于至少控制檢測(cè)信號(hào)的測(cè)試頻率和測(cè)試功率以對(duì)待測(cè)芯片進(jìn)行測(cè)試，并根據(jù)待測(cè)芯片在測(cè)試過(guò)程中的輸出信號(hào)確定到待測(cè)芯片是否失效以及在失效情況下確定失效類(lèi)型。該系統(tǒng)將處理裝置與檢測(cè)裝置連接，通過(guò)處理裝置至少控制檢測(cè)信號(hào)的測(cè)試頻率和測(cè)試功率以對(duì)待測(cè)芯片進(jìn)行測(cè)試，并根據(jù)待測(cè)芯片在測(cè)試過(guò)程中的輸出信號(hào)確定到待測(cè)芯片是否失效以及在失效情況下確定失效類(lèi)型，實(shí)現(xiàn)芯片測(cè)試的自動(dòng)化控制，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法自動(dòng)識(shí)別區(qū)分芯片失效類(lèi)型的問(wèn)題。