本發(fā)明公開了一種用于測試包括半導體
芯片的晶片的方法。與晶片上過濾失效半導體芯片的空間相關(guān)組相關(guān)地確定晶片是否有缺陷,其中所述空間相關(guān)組對應(yīng)于晶片上的局部失效且用來計算缺陷指數(shù)值。
聲明:
“檢測半導體晶片上局部失效的測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)