本發(fā)明公開了一種紅外焦平面探測器像元失效檢測方法,所述檢測方法包括:將待測紅外焦平面探測器倒置在測試杜瓦中,使所述待測紅外焦平面探測器的
芯片與測試杜瓦的冷頭相對。根據(jù)本發(fā)明提出的檢測方法,能夠在紅外焦平面探測器各個工藝步驟對紅外焦平面探測器進行像元失效分析。
聲明:
“紅外焦平面探測器像元失效檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)