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芯片的失效分析方法及裝置、電子設(shè)備、存儲介質(zhì)

1083   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:30
本發(fā)明實施例公開一種芯片的物理失效分析方法及裝置、電子設(shè)備、存儲介質(zhì),涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,能夠有效提高芯片的失效分析效率。所述方法包括:根據(jù)電學(xué)失效分析,獲取目標(biāo)芯片中可疑失效點的位置信息,所述位置信息包括所述可疑失效點在所述目標(biāo)芯片中所處的目標(biāo)圖層對應(yīng)的版圖,以及所述可疑失效點在所述目標(biāo)圖層中的位置;根據(jù)所述可疑失效點的位置信息,獲取所述目標(biāo)芯片中預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的芯片圖像,得到第一圖像,所述預(yù)設(shè)范圍與所述位置信息相對應(yīng);通過預(yù)設(shè)的圖像識別模型,對所述第一圖像進(jìn)行輪廓識別,得到第二圖像;根據(jù)所述第二圖像及所述目標(biāo)圖層對應(yīng)的版圖,確定所述可疑失效點的物理失效情況。本發(fā)明適用于芯片失效分析中。
聲明:
“芯片的失效分析方法及裝置、電子設(shè)備、存儲介質(zhì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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