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芯片的失效分析方法及系統(tǒng)

834 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:59:29

本發(fā)明公開了一種芯片的失效分析方法及系統(tǒng)，其中所述芯片的失效分析方法至少包括：提供一失效芯片，在失效芯片上標記出失效點的位置；根據(jù)失效點到失效芯片的側邊的距離，在失效芯片上設置取樣圖形，使失效點的投影位于取樣圖形的中央；沿著取樣圖形的邊線，分裂失效芯片，獲得失效圖形芯片和多個輔助圖形芯片；拼接失效圖形芯片和輔助圖形芯片，獲得組合圖形芯片；以及研磨組合圖形芯片，至失效點露出，并通過探針測試失效芯片的失效區(qū)域。本發(fā)明提供了一種芯片的失效分析方法及系統(tǒng)，能夠提升芯片失效分析的準確性和分析效率。

聲明：

“芯片的失效分析方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)