本發(fā)明提供的是一種用于微機電系統(tǒng)監(jiān)測的光纖探針。其特征是:它由單模光纖1,大芯徑漸變折射率光纖2,二元菲涅爾透鏡3,待測物4,位移臺5,光源6,三端口環(huán)形器7,光功率計8,計算機9組成。本發(fā)明可用于微機電系統(tǒng)的便攜、非接觸式無損監(jiān)測,可廣泛用于光纖傳感等領域。
聲明:
“用于微機電系統(tǒng)監(jiān)測的光纖探針” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)