本發(fā)明公開了一種小型簡易光學(xué)間距非接觸低相干測量裝置,其特征在于,包括箱體、計(jì)算機(jī)、測量臂以及設(shè)置在所述箱體內(nèi)部的光纖干涉探測盒、掃頻光源、指示光源和參考臂;所述光纖干涉探測盒內(nèi)設(shè)置有光纖耦合器、環(huán)形器、波分復(fù)用器和平衡探測器;所述參考臂包括第一準(zhǔn)直器、反射鏡以及用于安裝所述反射鏡且可對所述反射鏡的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的反射鏡安裝座,所述測量臂包括第二準(zhǔn)直器和待測樣品;本發(fā)明可用于小型光學(xué)表面間距非接觸測量,具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊、易于調(diào)整組裝、便于移動、測量無損傷等優(yōu)點(diǎn);本發(fā)明通過反射鏡安裝座,能實(shí)現(xiàn)反射鏡的位置的方便調(diào)節(jié),以保證從反射鏡返回的光線能再次進(jìn)入第一準(zhǔn)直器,方便裝置的光路調(diào)節(jié)。
聲明:
“小型簡易光學(xué)間距非接觸低相干測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)