本發(fā)明涉及一種薄膜材料相變溫度測量裝置,包括襯底、電極陣列、探測光光源、信號探測裝置、紅外測溫裝置和計算機;襯底為不透光襯底,電極陣列置于襯底上,待測薄膜覆蓋于電極陣列的表面,探測光光源向待測薄膜表面發(fā)射探測光,在探測光光斑落點平面內(nèi),電極陣列在至少一個方向呈現(xiàn)周期性結(jié)構,探測光的入射方向與電極的周期性變化方向相同;信號探測裝置獲取經(jīng)電極陣列衍射的探測光信號,傳輸至計算機;電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負極,通電后能夠為待測薄膜加熱,紅外測溫裝置安裝于待測薄膜上方監(jiān)測待測薄膜的溫度,傳輸至計算機。本發(fā)明裝置及方法基于光學衍射,能夠準確、快速地測量薄膜相變溫度,具有快速、無損測量的特點。
聲明:
“薄膜材料相變溫度測量裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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