本發(fā)明公開了一種基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置。該裝置主要由白光光源、光譜儀、準(zhǔn)直器、光纖傳輸單元、PC組成?;诎坠飧缮娣?,可以實(shí)現(xiàn)對晶圓膜厚的無損測量,時(shí)間快、設(shè)備小巧、操作簡單、精度高,適合實(shí)驗(yàn)室檢測。
聲明:
“基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)