本發(fā)明公開了一種基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉測量系統(tǒng)及測量方法,其特征是:激光器的出射光經擴束后照射測量面;測量面漫反射的光經兩塊分光棱鏡后分成三束光;三束光分別通過反射鏡、光闌、成像透鏡和分光棱鏡后同時成像到CCD相機上;本發(fā)明載波頻率和剪切量獨立可調,能夠實現(xiàn)對被測物的缺陷進行多方向同步檢測,是一種無損、全場、高效的測量系統(tǒng)。
聲明:
“基于馬赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系統(tǒng)及測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)