本發(fā)明公開了一種依據(jù)樣品空間結(jié)構(gòu)照明的白光干涉測(cè)量裝置及方法,本發(fā)明在照明系統(tǒng)加入微顯示器并能夠?qū)⒉煌目臻g圖案投影在樣品表面;在測(cè)量時(shí),依據(jù)采集的樣品圖像并結(jié)合樣品的特征,對(duì)樣品的測(cè)量區(qū)域進(jìn)行劃分,形成不同的照明圖案;將照明圖案輸入至微顯示器,對(duì)相鄰區(qū)域進(jìn)行非同步的空間照明和白光干涉測(cè)量,避免相鄰點(diǎn)之間由于多次反射而引起的相干干涉信號(hào)干擾;然后將測(cè)量的多組的表面高度分布進(jìn)行組合,進(jìn)而獲得整個(gè)表面的高度分布。本發(fā)明采用空間圖案照明的方法抑制了白光干涉測(cè)量微溝槽陣列等樣品時(shí)相鄰點(diǎn)之間的干擾,能夠無損快速檢測(cè)樣品。
聲明:
“依據(jù)樣品空間結(jié)構(gòu)照明的白光干涉測(cè)量裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)