利用共聚焦激光掃描顯微系統(tǒng)測(cè)量介質(zhì)表面粗糙度的方法涉及精密加工與精確測(cè)量領(lǐng)域，該方法包括設(shè)計(jì)了共聚焦激光掃描顯微系統(tǒng)，在探測(cè)器前設(shè)置可調(diào)針孔光闌；設(shè)計(jì)了掃描范圍100微米控制精度可達(dá)10納米的激光掃描器和物距與傾角都可調(diào)的載物臺(tái)，選定405納米波長(zhǎng)激光器；設(shè)定光闌針孔為<1.0艾里單元的某值、選擇掃描范圍和掃描層厚度后進(jìn)行掃描并存儲(chǔ)數(shù)據(jù)；重建掃描圖，在平面內(nèi)選定一形貌曲線，給出形貌曲線的峰值粗糙度和總粗糙度的平均值；獲得同一波導(dǎo)多個(gè)采樣長(zhǎng)度的峰值粗糙度和總粗糙度平均值；對(duì)多個(gè)波導(dǎo)多個(gè)采樣長(zhǎng)度的表面粗糙度測(cè)量獲得峰值粗糙度和總粗糙度的平均值；該方法可用于大規(guī)模微納型結(jié)構(gòu)在生產(chǎn)中的無(wú)損在線快速檢測(cè)。