本發(fā)明公開一種基于空氣耦合超聲的薄膜面密度測(cè)量方法及測(cè)量系統(tǒng)，其中方法包括測(cè)量激勵(lì)信號(hào)在空氣中傳播得到的第一衰減信號(hào)的能量；測(cè)量所述激勵(lì)信號(hào)經(jīng)過多層介質(zhì)薄膜后得到的第二衰減信號(hào)的能量，多層介質(zhì)薄膜位于空氣耦合超聲換能器的信號(hào)發(fā)射換能器和信號(hào)接收換能器之間；根據(jù)第一衰減信號(hào)和第二衰減信號(hào)的能量差異，計(jì)算多層介質(zhì)薄膜的測(cè)量位置聚焦點(diǎn)處的面密度值；變換空氣耦合超聲換能器的位置，重復(fù)執(zhí)行上述步驟，得到多層介質(zhì)薄膜不同測(cè)量位置聚焦點(diǎn)處的面密度值，通過取平均值得到多層介質(zhì)薄膜的面密度。利用本發(fā)明基于空氣耦合超聲手段測(cè)量多層彈性介質(zhì)薄膜面密度，有利于實(shí)現(xiàn)涂炭鋁箔表面碳層涂覆質(zhì)量的無損、快速評(píng)價(jià)，提高制備質(zhì)量和制備效率。